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簡要描述：VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
產(chǎn)品型號：VTC-100PA（加熱型） 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-02-11訪 問 量：4263詳細(xì)介紹
VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。
技術(shù)參數(shù)
主要特點(diǎn) |
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參數(shù) |
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| 進(jìn)氣口 | 上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
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| 可選加熱部分 | 上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數(shù)字溫控器控溫，zui高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 |
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標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 真空吸盤（含O型圈） | 2個(gè) |
2 | 中心定位器（含4個(gè)定位柱） | 1個(gè) | |
3 | 滴膠注射器（20ml） | 1個(gè) | |
4 | 注射器支架 | 1個(gè) | |
5 | 無油真空泵 | 1臺 | |
6 | 橡膠管（含卡箍） | 1根 | |
可選配件 | 過濾器（真空泵用） | ||
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