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當(dāng)前位置：首頁   >  產(chǎn)品中心  >  薄膜制備全套設(shè)備  >  3靶等離子濺射儀  >  VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀

3靶等離子濺射儀

簡(jiǎn)要描述：VTC-16-3HD是一款緊湊型CE認(rèn)證的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加熱溫度為500度和控制面板為觸摸屏模式。它可以濺射三種類型的靶材和放置樣品的直徑是50mm . 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料，金靶，銀，銅, 它可以與真空泵，不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍相連用.

  • 產(chǎn)品型號(hào)：VTC-16-3HD
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2025-02-10
  • 訪  問  量：4072

詳細(xì)介紹

3靶等離子濺射儀技術(shù)參數(shù)

輸入功率
  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

輸出功率
  • 1600VDC
  • zui大電流50mA 

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺(tái)
 
  • 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置 
  • 基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C
  • PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-10°C 
  • zui長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過5分鐘

控制面板
 
  • 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
  • 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選
 

 
  • KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
  • 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）
  • 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
  • 各種高純度金屬靶
  • 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 （這個(gè)我們不提供）

進(jìn)氣口

 一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量



靶材

 

 

標(biāo)配靶材分別有

  • 金，銀，銅 靶材: 
  • 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         銀靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         銅靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

   Certified

 

 

 

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